工藝節(jié)點(diǎn)、制程、關(guān)鍵尺寸

泛指在集成電路生產(chǎn)工藝可達(dá)到的最小柵極寬度，尺寸越小，表明工藝水平越高，意味著在同樣面積的晶圓上，可以制造出更多的芯片，或者同樣晶體管規(guī)模的芯片會(huì)占用更小的空間，主要節(jié)點(diǎn)如90nm、65nm、40nm、28nm、14nm、7nm、5nm、3nm、2nm 等